PVD真空镀膜过程非常复杂，由于镀膜原理的不同分为很多种类，仅仅因为都需要高真空度而拥有统一名称。所以对于不同原理的PVD真空镀膜，影响均匀性的因素也不尽相同。并且均匀性这个概念本身也会随着镀膜尺度和薄膜成分而有着不同的意义。
薄膜均匀性的概念：
1.厚度上的均匀性，也可以理解为粗糙度，在光学薄膜的尺度上看(也就是1/10波长作为单位，约为100A)，真空镀膜的均匀性已经相当好，可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内，也就是说对于薄膜的光学特性来说，真空镀膜没有任何障碍。此外，虽然QCM在低温下非常稳定，但温度高，它将成为对温度很敏感。
电子镀膜是一种产生薄膜材料的技术。在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。其工艺流程一般如下：
1、表面处理：通常，电子镀膜之前，应对基材（镀件）进行除油、除尘等预处理，以保证镀件的整洁、干燥，避免底涂层出现麻点、附着力差等缺点。对于特殊材料，如PE（聚乙烯）料等，还应对其进行改性，以达到镀膜的预期效果。
2、底涂：底涂施工时，可以采用喷涂，也可采用浸涂，具体应视镀件大小、形状、结构及用户设备等具体情况及客户的质量要求而定
生物学电子Parylene不仅电性能，防护性能好，而且生物相溶性也好，它已通过美国FDA论证，满足材料VI类标准，被列为是一种可以在体内长期植入使用的生物医学材料。
光纤光缆接头密封件光纤光缆接头在使用中可能遇到各种不同的环境，通常使用含有硅橡胶密封圈的接头使光缆与环境相隔离，经Parylene涂敷后的硅橡胶密封圈，能更好的适应各种恶劣环境，防止硅橡胶老化，延长密封圈的寿命。
市场对OLED显示器件要求使用寿命大于10000h，而OLED对于水汽、氧气非常敏感，其有机发光材料和活泼金属阴极都很容易和水汽、氧气发生反应而使器件遭到损坏。BOPET、BOPA薄膜基材镀铝前不需进行表面处理，可直接进行蒸镀。派瑞林涂层的水汽渗透率非常低，较可靠的将OLED器件与外界的水氧隔绝，保护了发光材料和活泼金属阴极，从而提高了OLED的使用寿命。
派瑞林涂层的镀膜方式为气相沉积CVD，沉积过程过程主要有三步：
1. 真空130℃条件下固态派瑞林材料升华成气态。
2. 真空680℃条件下，将气态双份子裂解成活性单体。
3. 真空常温下，气态单体在基体上生长聚合。
以上信息由专业从事化学气相沉积工艺的拉奇纳米镀膜于2024/5/1 8:30:06发布
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